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國產(chǎn)劃片機的三種晶圓切割方式

國產(chǎn)劃片機 2022-08-30

國人知道芯片是怎么生產(chǎn)的嗎?第一,通過提純石英砂,可以得到冶金級的硅,多晶硅可以再加工成圓片。然后芯片代工廠出來,把芯片電路刻在晶圓上,然后進入第三步封裝測試。國產(chǎn)劃片機的種類主要分為三種晶圓切割方式:全自動劃片、半自動劃片(包含自動識別、 手動識別)、手動劃片。


國產(chǎn)全自動劃片:是指在完成加工物模板教學的前提下,設備將對工作臺上的加工物自動上料,自動識別,自動清洗,依據(jù)切割參數(shù)的設定,沿多個切割向連續(xù)地進行切割。


國產(chǎn)半自動劃片:對工作臺上的加工物(確定切割位置)后,依據(jù)切割參數(shù)的設定,可進行自動識別或手動識別,沿多個切割向連續(xù)地進行切割。


國產(chǎn)手動劃片:選擇一個切割向,對工作臺上的加工物手動進行對準后,僅沿所選擇的方向進行切割。半自動切割開始前,可指定切割方向(向前或者向 后),還可以指定切割條數(shù)。


首先是全自動劃片:在國產(chǎn)半導體軟件界面點擊,進入界面全自動劃片。


國產(chǎn)劃片全自動切割中部區(qū)域顯示信息通常如下:


切割信息:切割使用的刀片、工件、切割設定參數(shù)等信息。


底部功能區(qū)域按鈕說明:


圖形對準:可進入對準界面,驗證自動識別功能。


工件真空:開啟或關閉工件真空。


工件設定:如需更改工件數(shù)據(jù),可通過底部<工件設定>按鈕進行操作。


預切割:切割前,可開啟或關閉預切割功能。


繼續(xù)切割:點擊此按鈕,完成上次未完成的切割操作。


右側功能區(qū)域按鈕說明:


開始執(zhí)行:執(zhí)行自動識別操作并沿多個方向進行切割(需要在功能設置界面中,開啟自動識別并切割功能)。


其次是半自動劃片:單擊界面點擊半自動劃片后,再點擊自動識別按鈕,進入界面自動劃片:


自動識別:選擇工件后自動識別對準(在執(zhí)行自動識別前,需要事先進行目標識別制作)。


手動識別:此處指單向對準,在指定的切割方向上,通過觀察圖像的位置,以手動方式確定切割位置。


點擊高倍和低倍相互切換。


畫面可點擊移動狀態(tài)。


畫面鎖住狀態(tài)。


顯示紫色實線狀態(tài)和通過可調紫色實線基準線的寬度。


顯示綠色虛線狀態(tài),和通過可調綠色虛線基準線的寬度。

國產(chǎn)劃片機的三種晶圓切割方式

最后是手動劃片:界面點擊半自動劃片后,點擊手動劃片按鈕后,進入界面手動劃片:


劃片刀數(shù):輸入切割的總刀數(shù),默認為0,則按最大刀數(shù)切割。


向后劃片:點選此按鈕后,手動切割方向為從前向后切割。


向前劃片:點選此按鈕后,手動切割方向為從后向前切割。


T軸調整:調整切割道與基準線平行,先找到切割道一個目標,點擊T軸調整,X軸自動移動另外一端,找到同一條切割道的目標,再點擊T軸調整,此時切割道與基準線處于平行。


高度校正:在劃片參數(shù)里刀片高度的設定下,輸入數(shù)值可抬高或降低刀片高度。輸入修改的高度后,點擊F2刀片高度校正。


進刀速度更新:當前劃片過程輸入速度可修改速度大小,輸入修改的速度 后,點擊F7劃片速度更新。


偏移量:輸入偏移數(shù)值,數(shù)值為正往前偏移,數(shù)值為負往后偏移,0則不偏移。


經(jīng)過多年的努力,國產(chǎn)化終于突破了納米芯片晶圓切割設備的重重堅冰,實現(xiàn)了歷史性的突破。對于我們國家來說,影響和好處是巨大的,對我國來說,意義是深遠而巨大的。

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