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劃片機(jī)廠家根據(jù)晶圓工藝制程及對產(chǎn)品需求的不同,一片晶圓通常由幾百至數(shù)萬顆小芯片組成,目前,行業(yè)內(nèi)主要切割工藝有三種:砂輪劃片切割、刀片切割、激光切割。
激光切割技術(shù)在晶圓切割機(jī)中的應(yīng)用展現(xiàn)出多方面的優(yōu)點,包括高精度、切割質(zhì)量優(yōu)良、適應(yīng)性強(qiáng)、運行成本低、環(huán)保性、自動化程度高、切割速度快以及適合微小尺寸切割等。