國產(chǎn)劃片機(jī) 2021-12-29
在晶圓完成所有的生產(chǎn)工藝后，第一個主要優(yōu)品率就被計算出來了。對此優(yōu)品率有多種不同的叫法，如國產(chǎn)劃片機(jī)漢為優(yōu)品率、生產(chǎn)線做了優(yōu)化品率、累積晶圓廠優(yōu)品率或"CUM”優(yōu)品率。
無論怎么命名，都是用完成生產(chǎn)的晶圓總數(shù)除以,總投入片數(shù)的一個百分比來表示。不同類型的產(chǎn)品擁有不同的元件、特征工藝尺寸和密度因子。將會針對產(chǎn)品類型而不是對整個生產(chǎn)線計算出一個優(yōu)品率。
要得到CUM 優(yōu)品率，需要首先計算各制程站優(yōu)品率，即以離開單一制程站的晶圓數(shù)比進(jìn)入此制程站的晶圓數(shù)：
優(yōu)品率=窗開此制程站的晶圖數(shù)/進(jìn)人此制程站的晶圓數(shù)
將各制程站優(yōu)品率依次相乘就可得出整體的晶圓生產(chǎn) CUM 優(yōu)品率：
晶圓生產(chǎn) CUM 優(yōu)品率=優(yōu)品率(制程站 1)x優(yōu)品率(制程站 2)x …x 優(yōu)品率（制程站 n）。
白帽優(yōu)化網(wǎng)為漢為科技提供圖例展示
我們列出了一個11步的晶圓工藝制程，與我們在以前使用的方法一樣。圖中第3列列出了各制程站的典型優(yōu)品率。累積優(yōu)品率列在第5列。對單一產(chǎn)品來說，從制程優(yōu)晶率計算出的 CUM優(yōu)品率與通過晶圓進(jìn)出計算出的優(yōu)品率是相同的，輸出的晶圓數(shù)除以輸人的晶圓數(shù)。也就是說，對這一產(chǎn)品累積優(yōu)品率與簡單方法算出的 CUM 優(yōu)品率是相等的。值得注意的是即使單個制程站具有非常高的優(yōu)品率，CUM 優(yōu)品率也將隨著晶圓通過工藝?yán)^續(xù)降低。現(xiàn)代的集成電路將需要 300-500 工藝步驟，這對維持有收益的生產(chǎn)率將是巨大的挑戰(zhàn)。成功的晶圓制造運(yùn)營必須使累積制造優(yōu)品率超過90%才能保持盈利和具有競爭性。
晶圓生產(chǎn)CUM 優(yōu)品率在50%到95%之間，取決于一系列的因素。計算出來的 CUM優(yōu)品率被用于計劃生產(chǎn)，或被工程部和管理者作為工藝有效性的一個指標(biāo)。
在芯片產(chǎn)業(yè)中，還有一個把晶圓切割的工作需要處理，這是直接影響芯片優(yōu)品率的又一重要環(huán)節(jié)，這就需要對劃片機(jī)的精度和穩(wěn)定性有絕對的要求。
